根真空ポンプ

根真空ポンプは、メカニカルブースター真空ポンプとしても知られており、内部圧縮のない一種の回転バラクタ真空ポンプです。それは高い真空を持ち、ガスに対する汚染はありません。通常、前視力を形成するためにバッキングポンプに吸い込まれる必要があります。製錬、石油化学、電気、電子産業に広く使用されています。

根真空ポンプは、2つの対称的な形状のインペラがポンプの内側を近くで互いに通り過ぎて回転する回転式の陽性変位タイプのポンプです。 2つのローターには、図8の形状に似た断面があり、歯付きギアによって同期されています。ローターとケーシング壁の間、およびローター自体の間のクリアランスは、数10分の1ミリメートルのみです。このため、根真空ポンプは、機械的な摩耗なしで高速で動作する場合があります。回転型のベーンとドライポンプとは対照的に、根ポンプはオイルシールされていないため、設計による乾燥圧縮ポンプの内部漏れは、範囲10〜100のみの圧縮比のみが達成できるという事実をもたらします。根の内部漏れ、およびそのことについて他の乾燥した圧縮ポンプの漏れは、主に、動作原理のためにポンプチャンバーの特定の表面領域が吸気側に割り当てられ、ポンプの圧縮側が交互に並んで割り当てられているという事実に基づいています。圧縮期の間、これらの表面積（ローターとケーシング）にはガス（境界層）が搭載されています。吸引段階では、このガスが放出されます。走行ガス層の厚さは、2つのローター間とローターとケーシング壁の間のクリアランスに依存します。根ポンプ内の比較的複雑な熱条件により、寒冷状態に基づいて考慮することはできません。最小のクリアランス、したがって最低の背面は、1 mBARの領域の動作圧力で達成されます。その後、この地域で最高の圧縮比を達成することが可能になりますが、この圧力範囲は、ローターとケーシング間の接触を考慮すると最も重要です。

一般に他のタイプのポンプと組み合わされて、根ポンプは一般にシステムのポンプ速度を増加させるか、より低い真空を生成するために使用されます。プライマリポンプとさまざまな段階の間に適切なレベルがあるため、非常に低い真空で高いポンプ容量を達成します。

根真空ポンプは、内部圧縮のない一種の真空ポンプです。通常、圧縮比は非常に低いため、高および中程度の真空ポンプにはフロントステージポンプが必要です。これは、ポンプキャビティ内のブレード型ローターのペアを同期して逆に押してガスを移動する真空ポンプです。

根真空ポンプは、同期および高速回転圏ローターのペアを備えた一種の機械的な真空ポンプです。ポンプを個別にポンプで送ることはできません。フロントステージでは、空気を直接放出するためにオイルシールと水リングが必要です。

その構造と作業原理は、根のブロワーに似ています。それが機能する場合、その吸引ポートは真空容器または真空システムのメインポンプに接続されます。ローターとローターの間、または真空ポンプのローターとポンプシェルの間に接触はなく、クリアランスは一般に0。1-0。オイル潤滑は必要ありません。ロータープロファイルには、ARC、インボリュート、サイクロイドが含まれます。インボリュートローターポンプの使用率は大量で、機械加工の精度を簡単に確保できるため、ロータープロファイルにはインボリュートタイプが使用されます。根の回転速度真空ポンプは、3450〜4100 rpmになることがあります。ポンプ速度は30〜10000 L / s（1 L=10-3 m3）です。限界真空は、シングルステージでは6.5×102 Pa、ダブルステージでは1×103 Paです。

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